快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计

据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破

公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。

当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。

由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。

武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。

相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。

团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”

• ·谷歌说到做到 诺贝尔奖AI成果AlphaFold3重磅开源！人人皆可免费下
• ·统计报告称高收益高风险劣质网贷平台退出市场
• ·深交所公布6宗纪律处分 上报证监会2起案件线索
• ·天虹股份无人便利店面向服装零售商提供RFID方案
• ·蔚来宣布建成9纵9横高速换电网络，连通全国超700个城市
• ·vivo 回应 X200 Pro 手机拍摄炫光现象：免费提供外设优化方案 加快进度推出
• ·美麦当劳被曝冰淇淋机发霉 官方急发声明 盘点麦当劳黑历史
• ·A股物流公司或扩容:畅联物流IPO过会 被问关联交易合理性
• ·联发科官宣新一代天玑芯片：12月23日发布天玑8400全大核处理器
• ·煤炭开采再度走强 大同煤业 安源煤业直线拉升
• ·来邦科技拟申请IPO 2016年营收9094.36万元
• ·万达轻资产运营模式是什么？王健林转型之路项目庞大
• ·字节视频生成模型PixelDance上线即梦AI：用户可免费体验
• ·小米手环9 Pro设计细节公布：超窄四等边大屏 媲美手表
• ·偿二代监管制度是什么？保监会决定启动偿二代二期工程
• ·上证50指数涨逾1% 券商股表现强势